Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/6198
Title: Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon
Authors: Kushnir, Yurij
Lobur, Mykhaylo
Bibliographic description (Ukraine): Kushnir Y. Model of a piezoelectric microaccelerometer based on two piezoelectric plates separated by a layer of polysilicon / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії : матеріали ХХ Міжнародної конференції TCSET2010, присвяченої 165-й річниці заснування Національного університету «Львівська політехніка», 23–27 лютого 2010 року, Львів, Славське, Україна / Національний університет «Львівська політехніка». – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2010. – С. 51. – Bibliography: 1 title.
Issue Date: 2010
Publisher: Видавництво Львівської політехніки
Keywords: MEMS
accelerometer
piezoelectric effect
FEM
ANSYS
Abstract: This paper presents an alternative design solution for a piezoelectric sensor based on two plates separated by a polysilicon solid body.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/6198
Content type: Article
Appears in Collections:Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії (TCSET'2010). – 2010 р.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
28.pdf44,34 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.