Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/42862
Title: Моделювання кінетичних процесів газофазної епітаксії
Other Titles: Kinetic modeling of gas phase epytaxy
Authors: Воронін, В. О.
Сіверс, В. Н.
Губа, С. К.
Affiliation: Національний університет “Львівська політехніка”
Bibliographic description (Ukraine): Воронін В. О. Моделювання кінетичних процесів газофазної епітаксії / B. O. Воронін, B. H. Сіверс, С. К. Губа // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 459 : Електроніка. – С. 193–204. – Бібліографія: 22 назви.
Journal/Collection: Електроніка
Issue Date: 2002
Publisher: Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Country (code): UA
Place of the edition/event: Львів
UDC: 539.291.1
Number of pages: 193–204
Abstract: У статті запропонована методологія узагальненого підходу до моделювання кінетичних процесів формування газової фази, перенесення складових речовин у полі нерівноважних концентрацій в умовах неоднорідного температурного поля. Для вирішення поставленого завдання використовували імовірнісні методи розрахунку характеристик енерго-та масопереносу, які базуються на розв’язуванні узагальненого рівняння Фоккера-Планка з врахуванням кінцевої швидкості рухаючих частинок. Знайдено аналітичні вирази для ключової функції густини імовірності у вигляді функції Гріна, що дозволило представити систему рівнянь дифузії в інтегральному вигляді. Розв’язок отриманих рівнянь для конкретних систем і реакторів дозволяє визначити нерівноважні концентрації компонентів як функцію координат і часу в об’ємі реактора. The generalized methodology for kinetic modeling processes of gas phase formation and transport processes in chemical systems at the field of no nequilibrium species as well as in the energy field is proposed. The probability methods of accounting the characteristics of energy- and mass-transport process based on the decision of Fokker - Plank common diffusion equation are used to solve this task. Therefore final rates of particles transport are taken into account. Analytical expression of key density probability function is found as Green's function. It has allowed presenting the system of the diffusion equations in an integrated form. The solution of the given equations for concrete transport system and reactors allows determining species real concentration as well as spacial-temporal dependencies in the volume of rector.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/42862
Copyright owner: © Воронін В. О., Сіверс В. Н., Губа С. К., 2002
References (Ukraine): 1. Шефер Г. Химические транспортные реакции. - М., 1964. 2. Fergusson R.R., Gabor T. The transport of gallium arsenide in the vapor phase by chemical reaction // J. Elecrochem. Soc. - 1964. - 3. - P. 585-592 3. Mendel G. Theoretical Calculation of vapor transport of solid in the ZnS - HCl system // J. Chem. Phys. - 1963 - 38. — P. 346-349 4. Секи Х. Термодинамическое изучение переноса и эпитаксиального роста арсенида галлия в открытой системе GaAs -AsCl3 - H2. - М., 1970. 5. Mizuno D, Watanabe H., Vapor growth kinetics of III-V compounds in a hyrogen - inert gas mihed carrier system // J. Cryst. Growth. - 1975. - 30. - P. 240-248. 6. Кузнецов Ф.А. Термодинамический анализ сложным газотранспортным систем. Воз¬можности и общая методика //Изв. СО АН СССР. Сер. Химич. наук. - 1975 - 2. — C. 5-24. 7. Гиваргизов Е.И. Рост нитевидных и пластинчатых кристаллов из пара. - М., 1977. 8. Гринберг Я.Х., Берякова В.А., Термодинамические свойства йодидов индия // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. - 1976. - 12. - С. 402-407 9. Гонтарь В.Г. Статический анализ сложныгх химических равновесий // Вестн. Москов. ун-та. Сер. Химия. - 1976. -17. - С. 369-370 3 5 10. Korec J. Flow-graph model of epitaxial growth of A B cmpounds from the vapour phase // J. Crystal Growth. - 1979. - 46. - P. 655-664 11. Cтрельченко С.С., Матяш А.А. Кинетика осаждения эпитаксиальныгх слоев соединений A B из газовой фазыг // Электронная техника. - 1979. - Сер. 6. - С. 55-64 12. Воронин В.А., Голиусов В.А., Чучмарев С.К. Методика расчета равновесия в гетерогенным системах типа InP - GaP - HCl // Изв. вузов. Химия и хим. технология. - 1983. - 26. — С. 1158-1163 13. Воронин В.А., Голиусов В.А., Чучмарев С.К. Методика расчета равновесия в гетерогенным системах типа InP - GaP - HCl // Изв. вузов. Химия и хим. технология. - 1983. - 26. - С. 1158-1163 14. Ban V.S. Mass spectrometric studies of vapor phase crystal growth // J. Electrochem. Soc. - 1971. -118. - P. 1473-1478 15. Жиляев Ю.В., Куликов А.Ю. Анализ состава газовой фазыг в зоне источника методом УФ-поглощения при выграшивании GaAs в хлоридной газатранспортной системе // ЖТФ. - 1990. - 60. - C. 143-150 16. Гонтарь В.Г. Математическое моделирование и анализ сложным химических равновесий. Математические проблемыг химической термодинамики. - Новосибирск, 1980. 17. Белеванцев В.И., Пещевицкий Б.И. Общие принципыг постановки задач по исследо¬ванию равновесий. Применение математических методов для описания и изучения хими¬ческих равновесий. - Новосибирск, 1976. 18. Федоров В.Д. Теория оптимального эксперимента. - М., 1971. 19. Марс Ф., Фешбах Г. Методыг теоретической физики. - М., 1958. 20. Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. - М., 1953, 21. Фейман Р., Хибс А. Квантовая механика и интегралыг по траекториям. - М., 1968. 22. Тихонов А.Н., Миронов М.А. Марковские процессыі. - М., 1977.
Content type: Article
Appears in Collections:Електроніка. – 2002. – №459

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
15_193-204.pdf208,52 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.