Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/42622
Назва: Peculiarities of electrical discharge in the Penning’s cell with sectional anode
Автори: Shandra, Zenon
Danilina, Tamara
Приналежність: Lviv Polytechnic National University
Tomsk State University of Control Systems and Radioelectronics
Бібліографічний опис: Shandra Z. Peculiarities of electrical discharge in the Penning’s cell with sectional anode / Z. Shandra, T. Danilina // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2002. – № 458 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 262–266. – Bibliography: 7 titles.
Журнал/збірник: Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки
Дата публікації: 2002
Видавництво: Published by Lviv Polytechnic National University
Країна (код): UA
Місце видання, проведення: Львів
Теми: discharge
Petting’s cell
discharge current-voltage characteristic
Кількість сторінок: 262–266
Короткий огляд (реферат): Ion sputtering can be used for receiving of thin films of high temperature superconductors specifically on the base of YBaCuO ceramics [1]. But there is considerable influence of substrate placement relatively target erosion zone on the properties of films at usage of magnetron discharge of direct current. It can be explained by bombardment of substrate by ions, which appear at target material sputtering [2]. From the target erosion zone the ion stream on the substrate is maximum. To improve the properties of films the substrate is placed from one side of erosion zone but the stochiometric structure and uniformity of the film thickness on the substrate become worse [3]. To eliminate bombardment of substrate by ions, Penning’s discharge can be used. In this case two cathodes (targets) are parallel and ion streams from cathodes are moving towards. The substrate is outside discharge what allows to eliminate ion component of stream on the substrate [4].
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/42622
Власник авторського права: © Zenon Shandra, Tamara Danilina, 2002
Перелік літератури: 1. В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко, Ю.Э. Воеводин, В.В. Грибковский. Зарубежная электронная техника, 3, 1989, с.3-57. 2. Е.В.Агафонникова, З.А.Шандра. Физика окисних пленок. Тезисы докладов III Всесоюзной научной конференции. 4.1 - Петрозаводск, 1991, с.5-6. 3. Kageyama Yasuyuki, Tada Yasukori. Appl.Phys.Lett., 55(1989), №10, p.1035-1037. 4. Л.Р. Битнер, В.А. Ведерников, Т.И. Данилина, Г.В. Маняхина, З.А. Шандра, Изв.ВУЗов. Физика, 12 (1976), с.11-15. 5. Е.В. Агафонникова, З.А. Шандра. Сверхпроводимость: физика, химия, техника, 5(1992), № 1, с.123-127. 6. Захарків А.Б., Шандра З.А. // Вісник НУ “Львівська політехніка”, 2002, № 434, с. 120 - 125. 7. Баберцян Р.П. Бадалян Э.С., Егназарян Г.А., Тер-Геворкян Э.И. //ЖТФ, 1998, № 9, с. 29 - 32.
Тип вмісту : Article
Розташовується у зібраннях:Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2002. – №458

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
50_262-266.pdf175,59 kBAdobe PDFПереглянути/відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.