Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/37335
Title: Високотемпературний напівпровідниковий сенсор тиску на основі мікрокристалів кремнію
Authors: Дружинін, А. О.
Кутраков, О. П.
Лавитська, О. М.
Мар’ямова, І. Й.
Bibliographic description (Ukraine): Високотемпературний напівпровідниковий сенсор тиску на основі мікрокристалів кремнію / А. О. Дружинін, О. П. Кутраков, О. М. Лавитська, І. Й. Мар ’ямова // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 401 : Електроніка. – С. 30–33 . – Бібліографія: 4 назви.
Issue Date: 2000
Publisher: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract: Наведено результати комплексу робіт із створення п’єзорезистивного сенсора тиску, працездатного в умовах підвищених та високих температур. Елементною базою сенсора стали мікрокристали кремнію, а в основу конструкції покладено універсальний тензомодуль з пружно-чутливим елементом балочного типу і круглою мембраною. Наведено вихідні характеристики розробленого сенсора тиску. Results of the complex works on the piezoresistive pressure sensor development for operation at elevated and high temperatures are presented. The material basis for this sensor is silicon microcrystals while the sensor's design is based on the universal strain unit with a cantilever strain-sensitive element and a circular membrane. Output performance of the developed sensor is presented.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/37335
Content type: Article
Appears in Collections:Електроніка. – 2000. – №401

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
7_30-33.pdf173,35 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.