Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/35772
Title: Моделювання складу газової фази системи InAs-Sb-HCL для визначення оптимальних умов вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx
Other Titles: A modelling of the gas phase proportion in the InAs-Sb-HCL system for the determination of the optimal conditions of InAsi_xSbx solid solution microcrystal growth microcrystal growth
Authors: Гумен, І. С.
Копцев, П. С.
Кость, Я. Я.
Bibliographic description (Ukraine): Гумен І. С. Моделювання складу газової фази системи InAs-Sb-HCL для визначення оптимальних умов вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx / І. С. Гумен, П. С. Копцев, Я. Я. Кость // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 513 : Електроніка. – С. 54–58. – Бібліографія: 13 назв.
Issue Date: 2004
Publisher: Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
Abstract: Подано модель газової фази для вирощування мікрокристалів твердого розчину InAsixSbx. Визначено якісну залежність складу газової фази від технологічних параметрів. Отримані мікрокристали твердого розчину InAsixSbx, експериментальна перевірка підтвердила адекватність моделі. The model of the gas phase for the InAsixSbx solid solution microcrystal growth was presented. The qualitative dependence of the gas phase proportion upon the technological parameters is determined. The microcrystals of the InAsi.xSbx solid solution were obtained and the experimental testing confirmed model adequacy.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/35772
Content type: Article
Appears in Collections:Електроніка. – 2004. – №513

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
10_54-58.pdf188,82 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.