Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31386
Title: Mathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environment
Authors: Holovatyy, А.
Teslyuk, V.
Panchak, R.
Koshyrets, S.
Bibliographic description (Ukraine): Mathematical modelling and simulation of the mechanical component of the fully differential capacitive mems accelerometer using matlab/simulink environment / А. Holovatyy, V. Teslyuk, R. Panchak, S. Koshyrets // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". Серія: Комп’ютерні системи проектування теорія і практика : збірник наукових праць. – 2015. – № 828. – С. 20–26. – Bibliography: 12 titles.
Issue Date: 2015
Publisher: Видавництво Львівської політехніки
Keywords: Мікроелектромеханічні системи (МЕМС)
повністю диференційний ємнісний МЕМС акселерометер
прискорення
математичне моделювання
імітаційна модель
поведінковий аналіз
САПР
MATLAB/Simulink
Microelectromechanical systems (MEMS)
fully differential capacitive MEMS accelerometer
acceleration
mathematical modeling
simulation model
transient analysis
Abstract: Розроблено імітаційну модель механічної компоненти повністю диференційного ємнісного МЕМС акселерометра в середовищі MATLAB/Simulink. Модель дає змогу моделювати переміщення робочої маси, зміну ємностей вимірювальних конденсаторів чутливого елемента, чутливість мікродавача від прикладеного прискорення, а також проводити часовий аналіз інтегрального пристрою на системному рівні проектування. Simulation model of the mechanical component of the fully differential capacitive MEMS accelerometer has been developed using MATLAB/Simulink environment. The model allows to simulate movement of the proof mass, capacitance changes of the sense capacitors of the sensitive element, sensitivity of the sensor depending on the applied force of acceleration, and to perform the transient analysis of the integrated device at the system level of computeraided design.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31386
Content type: Article
Appears in Collections:Комп'ютерні системи проектування теорія і практика. – 2015. – №828

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
05-20-26.pdf199,91 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.