Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31151
Title: Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем
Authors: Дорош, Н. В.
Кучмій, Г. Л.
Смеркло, Л . М.
Горбулик, В. І.
Bibliographic description (Ukraine): Лазерно-стимульоване осадження тонких плівок для виготовлення інтегральних мікросхем / Н. В. Дорош, Г. Л. Кучмій, Л. М. Смеркло , В. І. Горбулик // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2004. – № 512 : Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – С. 98–101. – Бібліографія: 2 назви.
Issue Date: 2004
Publisher: Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
Abstract: Проаналізовано методи лазерно-стимульованого осадження тонких плівок та наведено оптимальні режими лазерного осадження міді та нікелю. In a paper the methods of laser-induced precipitation of thick film were carried out. The optimal regimes of laser precipitation of copper and nickel were presented.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/31151
Content type: Article
Appears in Collections:Елементи теорії та прилади твердотілої електроніки. – 2004. – № 512

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
20_98-101.pdf136,81 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.