Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/21244
Title: Перспективи застосування мікроелектромеханічних систем (мікросхем на кристалі) структури «кремній-на-ізоляторі», побудованих на спеціалізованих базових матричних кристалах, в технології буріння
Authors: Петрушка, А. І.
Матвійків, Т. М.
Bibliographic description (Ukraine): Петрушка А. І. Перспективи застосування мікроелектромеханічних систем (мікросхем на кристалі) структури «кремній-на-ізоляторі», побудованих на спеціалізованих базових матричних кристалах, в технології буріння / А. І. Петрушка, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 680 : Радіоелектроніка та телекомунікації. – С. 161–164. – Бібліографія: 7 назв.
Issue Date: 2010
Publisher: Видавництво Львівської політехніки
Abstract: Аналізуються перспективи застосування мікроелектромеханічних систем (МЕМС), побудованих на спеціалізованих базових матричних кристалах (БМК) структури «кремній-на-ізоляторі» (КНІ), в технології глибокого та направленого буріння, яка характеризується наявністю високих температур, агресивних середовищ та значних механічних впливів. The article deals with analysis of the perspective of micromechanical systems (MEMS) application, based on specialize basic matrix crystals (BMC) of «silicon-on-insulator» (SOI) structure, in technology of deep and direct boring, which are characterized by high temperatures, aggressive environment and considerable mechanical influences.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/21244
Content type: Article
Appears in Collections:Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2010. – №680

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
30-161-164.pdf163,11 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.