Please use this identifier to cite or link to this item: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/23382
Title: Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon
Other Titles: Чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію
Authors: Druzhynin, Anatoliy
Kogut, Igor
Golota, Viktor
Khoverko, Yuriy
Bibliographic description (Ukraine): Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon / Anatoliy Druzhynin, Igor Kogut, Yuriy Khoverko, Viktor Golota // Computational Problems of Electrical Engineering. – 2013. – Volume 3, number 1. – P. 11–15. – Bibliography: 25 titles.
Issue Date: 2013
Publisher: Publishing House of Lviv Polytechnic National University
Keywords: accelerometer
polysilicon
structure silicon-on-insulator
etching
nanoelectromechanical system
Abstract: In this work we consider sensing elements of an accelerometer which is made using the combined technologies of silicon-on-insulator (SOI) structures and silicon nanocrystals whiskers manufacturing. On their basis a quick-response, high sensitive to acceleration and displacement device with submicrometer and nanometer typological sizes has been designed. This enabled us to create, on its basis, both a discrete device and an element of integrated nanoelectromechanical element silicon-on- insulator structures, which provides control of displacement up to 200 nm. У роботі розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-а-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими та нанометрровими топологічними розмірами. Це дало можливість реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який за безпечує контроль переміщення з точністю до 200 нм.
URI: http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/23382
Content type: Article
Appears in Collections:Computational Problems Of Electrical Engineering. – 2013. – Vol. 3, No. 1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
4-11-15.pdf208,69 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.